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相敏渦流法的探頭由鐵素體鐵芯組成，鐵芯周圍繞有兩個線圈。首先，勵磁線圈中的電流產(chǎn)生高頻磁場(kHz-MHz范圍)，該磁場是樣品中產(chǎn)生了渦流。 

探頭里的另一個線圈，即測量線圈，用來測量交變電阻(阻抗)。探頭的阻抗通過樣品中的渦流修正，與無樣品時探頭產(chǎn)生的激勵渦流相比，其相位發(fā)生偏移(相位角φ)。

相位角φ是由材料的電導(dǎo)率直接決定的。

在相敏渦流法中，復(fù)阻抗的幅值對測量信號不產(chǎn)生影響。因此，探頭不必直接接觸被測物體表面。非接觸測量的距離補償可達(dá)200-700μm。該方法可以用來測量被箔片或油漆覆蓋的工件的電導(dǎo)率。